Identifiant PLACE de l'annonce :
3087791
Métadonnée "org_acronym" :
f2h
Métadonnée "reference" : AOO-22-2026
Métadonnée "intitule" : Acquisition et installation d'un équipement de profilométrie optique confocal laser à haute résolution en Z
Métadonnée "objet" : L’acquisition d’un profilomètre optique confocal laser à haute résolution en z permettra au Laboratoire des Technologies de la Microélectronique (LTM) de combler un manque d’outils de métrologie optique pour permettre de faire du contrôle dimensionnel rapide et résolu sur les futurs microstructures 3D qui sont envisagées pour les composants du futur. Le nouvel équipement doit ainsi permettre la reconstruction 3D de profils de dimensions latérales micrométrique et de dimensions verticales sub micrométriques et micrométriques, avec une haute résolution en z (sub 20 nm à fort grossissement) ainsi que de mesurer de la nano topographie et de la rugosité sub 100mm par interférométrie sur de grands champs.
Métadonnée "organisme" : Etablissements et organismes de l'enseignement supérieur, de la recherche et de l'innovation
Date limite de remise des plis :
2027-01-06T12:00:00
Entité d'achat : EOESRI / CNRS / CNRS - DR11 - CNRS Délégation Alpes
Procédure : Appel d'offres ouvert
Catégorie principale :
Fournitures
Allotissement : Non
Lieu d'exécution : (38) Isère
Code CPV : 38636000
Date du téléchargement depuis PLACE :
2026-11-07T03:10:17.109000
Liens BOAMP :
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Référence du réglement : MzA4Nzc5MQ==
AOO-22-2026_RC_VFD.pdf (701369)
01_DCE_VF.zip (3028361)
/AOO-22-2026_CCAP_VF.pdf
/AOO-22-2026_CCTP_VF.pdf
/AOO-22-2026_RC_VFD.pdf
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/Notice-explicative_DC2.pdf
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