Identifiant PLACE de l'annonce :
3052849
Métadonnée "org_acronym" :
s2d
Métadonnée "reference" : B26-02048-NJ
Métadonnée "intitule" : Equipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique - ALD Tool for advanced metal and metal nitrides
Métadonnée "objet" : Dans le cadre de ses activités de recherche visant à développer des technologies SOI à épuisement total de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un équipement de dépôt par couche atomique (ALD) entièrement automatique.
Cet équipement devra principalement traiter des plaquettes de 300 mm (ou de 200 mm à l’aide de supports 200-300 mm). Il est destiné au dépôt de métaux ainsi que de nitrures métalliques pour les mémoires non volatiles et les contacts avancés. Cet équipement devra également inclure une solution de nettoyage afin d’améliorer la qualité de surface avant le dépôt de métaux et de nitrures métalliques.
Métadonnée "organisme" : Autres organismes
Date limite de remise des plis :
2026-09-11T12:00:00
Entité d'achat : AO / CEA / CEA / GRENOBLE - CENTRE DE GRENOBLE
Procédure : Procédure avec négociations
Catégorie principale :
Fournitures
Allotissement : Non
Lieu d'exécution : (38) Isère
Code CPV : 31712100
Date du téléchargement depuis PLACE :
2026-08-11T03:10:44.590000
Liens BOAMP :
Cette annonce de comprend pas d'avis.
Référence du réglement :
Cette annonce de comprend pas de réglement.
DCE B26-02048-NJ.zip (7670288)
/1. RC-B26-02048-NJ.pdf
/1.1 RC Annexe 1 Dematerialisation procedure.pdf
/1.2 RC Annexe 2 Regles appliquables.pdf
/1.2.1 RC Annexe 2 RULES APPLICABLE.pdf
/1.3 Annexe 3 financiere et environnementale.xlsx
/2. CDC_ALD_Advanced_Metal.pdf
/2.1 Annexe_A_ALD_Advanced_Metal.xlsx
/2.1 Annexe_A_ALD_Advanced_Metal.xlsx/image1.jpeg
/2.2 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx
/2.2 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx/image1.png
/2.2 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx/image2.png
/2.2 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx/image3.png
/2.2 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx/image4.png
/2.2 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx/image5.jpeg
/2.2 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx/image6.png
/2.3 Annexe I Fiche Identification Risques.xlsx
/2.3 Annexe I Fiche Identification Risques.xlsx/image1.png
/2.4 APPENDIX J SECS-GEM Compliance Statement.dotx
/2.4 APPENDIX J SECS-GEM Compliance Statement.dotx/image1.png
/2.5 Annexe K Chassis.xltx
/2.5 Annexe K Chassis.xltx/image1.png
/3. PM-B26-02048-NJ.pdf
/4. Annexe CGA janvier 2022.pdf
/4.1 Appendix T-C 2022 English.pdf
/DAST.docx
/DAST.docx/image1.jpeg
Cette annonce de comprend pas de complément.