Détails sur un DCE

Identifiant PLACE de l'annonce : 2811798

Métadonnée "org_acronym" : s2d

Métadonnée "reference" : B25-02317-AT

Métadonnée "intitule" : Fourniture d'un équipement de gravure par plasma 300mm

Métadonnée "objet" : Pour ses activités de recherche axées sur le développement de technologies FD-SOI de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un nouvel outil de gravure par plasma afin de relever les défis technologiques à venir. L'équipement devra comporter une chambre de gravure pour les matériaux de type AlCu et TiN pour des applications FEOL et BEOL. Une chambre de stripping spécifique devra être associée à la chambre de gravure. L’équipement devra pouvoir être complété avec une chambre de gravure multi-matériaux ainsi qu’une chambre de gravure d’oxyde fin.

Métadonnée "organisme" : Autres organismes

Date du téléchargement depuis PLACE : 2025-07-11T03:18:37.416000

/1 - Cahier des charges.pdf

/1.1 - Annexe A.xlsx

/1.1 - Annexe A.xlsx/image1.jpeg

/1.2 - Annexe H.xlsx

/1.2 - Annexe H.xlsx/image1.png

/1.3 - Annexe I.xlsx

/1.3 - Annexe I.xlsx/image1.png

/1.4 - Annexe J.dotx

/1.4 - Annexe J.dotx/image1.png

/1.5 - Annexe K.xltx

/1.5 - Annexe K.xltx/image1.png

/2- Reglement de consultation.pdf

/2.1 - Dematerialisation procedure.pdf

/2.2 - Regles applicables.pdf

/2.3 - DAST.docx

/2.3 - DAST.docx/image1.jpeg

/3 - Projet de marche.docx

/3 - Projet de marche.docx/image1.png

/3 - Projet de marche.docx/image2.emf