Identifiant PLACE de l'annonce :
2744724
Métadonnée "org_acronym" :
f2h
Métadonnée "reference" : 13FCS2025
Métadonnée "intitule" : Acquisition elipsiomètre in situ
Métadonnée "objet" : Le contrat porte sur les prestations suivantes : Achat et installation d’un Ellipsomètre in situ.
Dans le cadre de ses recherches, le GREMI souhaite acquérir un ellipsomètre in situ afin de mesurer l’épaisseur gravée ou déposée lors de procédés (ALD/ALE) dédiés à la microélectronique. Le fournisseur devra proposer un ellipsomètre in situ, pour des mesures en temps réel et l’installer sur un réacteur plasma équipés de brides DN40 en vis-à-vis (avec un angle de 70°).
Métadonnée "organisme" : Etablissements et organismes de l'enseignement supérieur, de la recherche et de l'innovation
Date du téléchargement depuis PLACE :
2025-04-12T03:13:25.618000
Liens BOAMP :
Cette annonce de comprend pas d'avis.
Référence du réglement : Mjc0NDcyNA==
2025_04_11_RC_13FCS2025.pdf (330079)
2 - DCE.zip (933109)
/2025_04_07_AE_13FCS2025.doc
/2025_04_07_AE_13FCS2025.doc/image1.jpg
/2025_04_07_DPGF_13FCS2025.xls
/2025_04_07_DPGF_13FCS2025.xls/embedded-1
/2025_04_11_CCAP_13FCS2025.pdf
/2025_04_11_CCTP_13FCS2025.pdf
/2025_04_11_RC_13FCS2025.pdf
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