Identifiant PLACE de l'annonce :
2705263
Métadonnée "org_acronym" :
s2d
Métadonnée "reference" : B24-06195-TZ
Métadonnée "intitule" : Equipement ALD pour les matériaux MEOL/BEOL
Métadonnée "objet" : Le CEA-Leti souhaite faire l’acquisition d’un équipement de dépôt ALD. Cet équipement vise à être utilisé pour le développement des technologies avancées FDSOI 10 nm et au-delà, et plus particulièrement les niveaux MEOL et BEOL.
Cet équipement traitera des plaques 300 mm. Il vise le développement des diélectriques et des matériaux conducteurs pour les mémoires non-volatiles embarquées (eNVM) au niveau des interconnexions métalliques au-dessus des transistors.
Métadonnée "organisme" : Autres organismes
Date du téléchargement depuis PLACE :
2025-02-12T03:12:21.800000
Liens BOAMP :
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Référence du réglement :
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DCE B24-06195-TZ.zip (9728208)
/1.0 Specifications ALD Platform for MEOLBEOL materials.pdf
/1.1 Appendix A FR-ENG.xlsx
/1.1 Appendix A FR-ENG.xlsx/image1.jpeg
/1.2 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx
/1.2 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx/image1.png
/1.3 Annexe I Risk Identification Sheet.xlsx
/1.3 Annexe I Risk Identification Sheet.xlsx/image1.jpeg
/1.3 Annexe I Risk Identification Sheet.xlsx/image2.jpeg
/1.3 Annexe I Risk Identification Sheet.xlsx/image3.png
/1.4 Appendix J.docx
/1.4 Appendix J.docx/image1.png
/2. PM and Draft contract B24-06195-TZ.pdf
/3. RC B24-06195-TZ.pdf
/3.1 Rules On request B24-06195-TZ.pdf
/3.2 RC Annexe 1 Demat procedure.pdf
/3.2.1 RC Appendix 1 Demat of procedure EN.pdf
/3.3 RC Appendix 2 Rules applicable.pdf
/3.3.1 RC Annexe 2 Regles applicables.pdf
/CGA janvier 2022 FR.pdf
/General Terms and conditions Pruchase.pdf
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