Identifiant PLACE de l'annonce :
2642987
Métadonnée "org_acronym" :
s2d
Métadonnée "reference" : B24-04533-TZ
Métadonnée "intitule" : Module de métrologie intégrée sur équipement CMP MIRRA4
Métadonnée "objet" : Pour ses activités de recherche, le CEA-LETI souhaite acquérir un système de mesure intégré pour son équipement Applied Materials : MIRRA-DESICA. Cet équipement doit être entièrement intégré et connecté à l'équipement de CMP.
Il doit manipuler et mesurer des plaques de silicium de 200 mm de diamètre, avec différents matériaux déposés, tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium, le poly-silicium sur oxyde de silicium et mesurer des plaques avec ou sans motifs.
Métadonnée "organisme" : Autres organismes
Date du téléchargement depuis PLACE :
2024-10-24T03:12:22.705000
Liens BOAMP :
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Référence du réglement :
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DCE.zip (5419611)
/DCE.zip
/DCE.zip/1. CDC_METROLOGY_MIRRA_DESICA.pdf
/DCE.zip/1.1 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx
/DCE.zip/1.1 Annexe H - Datasheet for Tool Installation.xlsx/image1.png
/DCE.zip/1.2 Annexe I Fiche Identification Risques.xlsx
/DCE.zip/1.2 Annexe I Fiche Identification Risques.xlsx/image1.jpeg
/DCE.zip/1.2 Annexe I Fiche Identification Risques.xlsx/image2.jpeg
/DCE.zip/1.2 Annexe I Fiche Identification Risques.xlsx/image3.png
/DCE.zip/2. PM B24-04553-TZ.pdf
/DCE.zip/3. RC B24-04553-TZ.pdf
/DCE.zip/APPENDIX A MIRRA_DESICA.docx
/DCE.zip/APPENDIX A MIRRA_DESICA.docx/image1.jpeg
/DCE.zip/APPENDIX J SECS-GEM Compliance Statement MIRRA4.docx
/DCE.zip/APPENDIX J SECS-GEM Compliance Statement MIRRA4.docx/image1.png
/DCE.zip/CGA janvier 2022.pdf
/DCE.zip/RC Annexe 1 Demat procedure.docx
/DCE.zip/RC Annexe 1 Demat procedure.docx/image1.jpeg
/DCE.zip/RC Annexe 1 Demat procedure.docx/image2.jpeg
/DCE.zip/RC Annexe 1 Demat procedure.docx/image3.png
/DCE.zip/RC Annexe 2 REGLES APPLICABLES.pdf
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